奈米制造设施
光刻技术
- Quintel NXQ 4000口罩对准器
- OAI 30型准直紫外线曝光系统
- 劳雷尔WS-650S-23TFM-LITE旋转涂布机
- EZ4旋转涂布机
- 费舍尔科学等温热板搅拌器
沉积
- 库尔特·J. Lesker PVD 75溅射和热蒸发系统
- 登顿真空DV-502B热蒸发器
- 纳米团簇沉积系统
- MSE PRO紧凑型磁控管离子溅射镀膜机
热过程
- 帕洛玛SST 3130真空压力炉
- 费舍尔科学750等温可编程马弗炉
- MTI GSK1600X炉
- Thermo Scientific Lindberg/Blue M Mini-Mite管炉
蚀刻
- PIE科学Tergo等离子清洁剂
计量 & 测试
- FEI/Thermo Scios双光束FIB/SEM
- 卡尔蔡司Supra 35VA扫描电镜
- Thermo Scientific Noran System 7 x射线微量分析系统
- 原子力显微镜(AFM)
- 布鲁克D8 Quest x射线衍射(XRD)系统
组装 & 包装
- 迪斯科爸爸320切割锯
- K&s4524ad球丝焊接机
- K&s4523楔形金属丝焊接机
- Orthodyne 20型大型焊丝机
- XYZTEC秃鹰70拉丝和模剪粘接试验机
- AMI Presco MSP-485半自动厚膜丝网印刷机
- Kepro BTL121 PCB光刻干膜抗蚀层压机
- Unichem MP-4150绿色胶带打孔机